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什么是Clean Room 无尘室 洁净室

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摘要:什么是Clean Room 无尘室 洁净室

Clean Room 无尘室 洁净室是指: 是一個受到仔細管理及良好控制的房間,其溫度、濕度、壓力都可以調節,且空氣中的灰塵已予以排除,為半導體及細線電路板生產制造必須的環境。一般“潔凈度”的表達方式,是以每“立方尺”的空氣中,所含有大於0.5μm以上的塵粒數目,做為分級的標準.又為節約成本起見,常隻在工作台面上設置局部無塵的環境,以執行必須的工作,稱為Clean Benches。

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